剛剛，薄膜沉積設(shè)備供應(yīng)商拓荊科技登陸科創(chuàng)板，發(fā)行價71.88元/股。拓荊科技開盤價為95.01元/股。開盤后，拓荊科技股價最高漲至104元/股，漲幅達(dá)44%，之后有所回落。截至芯東西成文，拓荊科技報(bào)97元/股，漲幅35%，總市值122億元。

　　薄膜沉積是芯片制造的核心工藝環(huán)節(jié)，晶圓廠通過這種技術(shù)制造芯片襯底上的微米或納米級薄膜材料層。薄膜沉積設(shè)備和光刻機(jī)、刻蝕機(jī)共同構(gòu)成芯片制造的三大主設(shè)備。目前這一市場基本被應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體、東京電子等國際龍頭占據(jù)，是國產(chǎn)半導(dǎo)體的“卡脖子”環(huán)節(jié)。

　　拓荊科技主要產(chǎn)品包括等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積（SACVD）設(shè)備三個系列，已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)晶圓廠14nm及以上制程產(chǎn)線，并已展開10nm及以下制程產(chǎn)品的驗(yàn)證測試。

　　▲拓荊科技產(chǎn)品（來源：拓荊科技官網(wǎng)）

　　拓荊科技是國產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備龍頭企業(yè)，是國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的集成電路PECVD、SACVD設(shè)備廠商，曾三次被中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會評為“中國半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)”。其產(chǎn)品已應(yīng)用于中芯國際、華虹集團(tuán)、長江存儲、長鑫存儲、廈門聯(lián)芯、燕東微電子等國內(nèi)主流晶圓廠，打破了國際廠商對國內(nèi)市場的壟斷。

　　報(bào)告期內(nèi)，拓荊科技呈增長趨勢，2018年至2021年1-9月各期營收分別為7064.40萬元、2.51億元、4.36億元和3.74億元。

　　由于股權(quán)較為分散，拓荊科技無控股股東或?qū)嶋H控制人。本次IPO，拓荊科技計(jì)劃募資10億元，將分別用于“高端半導(dǎo)體設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)”、“先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)研發(fā)與改進(jìn)”、“ALD設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”與“補(bǔ)充流動資金”四個項(xiàng)目。

　　▲拓荊科技募資方向與使用安排（來源：拓荊科技招股書）

　　一、排隊(duì)9個月，拓荊科技登陸科創(chuàng)板

　　拓荊科技成立于2010年11月，由中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司和孫麗杰分別出資600萬元和400萬元，持有拓荊有限60%和40%的股權(quán)。

　　拓荊科技2010年成立后，2011年其首臺12英寸PECVD設(shè)備就出廠到中芯國際進(jìn)行驗(yàn)證。2013年，拓荊科技的PECVD設(shè)備PF-300T通過中芯國際產(chǎn)品線測試，并于次年收獲中芯國際首個量產(chǎn)機(jī)臺PF-300T的訂單。

　　2014年1月，孫麗杰將其持有的拓荊有限40%股權(quán)轉(zhuǎn)讓給姜謙、凌復(fù)華、張孝勇、劉憶軍、張先智等五名外籍專家，以及沈陽盛騰、沈陽盛旺、沈陽盛全、沈陽盛龍四個員工持股平臺。

　　截至拓荊科技上市，姜謙、凌復(fù)華、張孝勇、劉憶軍、張先智等人為拓荊科技的前十大自然人股東，不過劉憶軍、凌復(fù)華兩人已不在拓荊科技任職，張先智為拓荊科技顧問。姜謙和張孝勇分別為拓荊科技的董事和副總經(jīng)理，也是拓荊科技7位核心技術(shù)人員中的2人。

　　2021年7月12日，拓荊科技申報(bào)科創(chuàng)板IPO獲受理。截至今天拓荊科技上市，共歷時9個月。

　　二、營收復(fù)合增長率近150%，中芯國際為最大客戶

　　報(bào)告期內(nèi)，拓荊科技2018年至2021年1-9月各期營收分別為7064.40萬元、2.51億元、4.36億元和3.74億元，近三年復(fù)合增長率達(dá)148.32%。

　　隨著營收的增長，拓荊科技虧損逐步減少，并在2021年前9個月實(shí)現(xiàn)扭虧為盈。其2018年、2019年、2020年和2021年1-9月凈利潤分別為-1.03億元、-1936.64萬元、-1169.99萬元和5704.87萬元。

　　報(bào)告期各期，拓荊科技研發(fā)投入分別為1.08億元、7431.87萬元、1.23億元和1.30億元，分別占各期營收的152.84%、29.58%、28.19%和34.65%。由于2018年拓荊科技營收較少，其研發(fā)投入占比超過100%。

　　▲拓荊科技2018年至2021年1-9月各期營收、凈利潤變化

　　具體來說，拓荊科技的主要產(chǎn)品有等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）設(shè)備、原子層沉積（ALD）設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積（SACVD）設(shè)備三個系列。其中PECVD設(shè)備是拓荊科技的核心產(chǎn)品，也是芯片制造薄膜沉積工藝中運(yùn)用最廣泛的設(shè)備種類。

　　招股書透露，拓荊科技已于2018年向某國際領(lǐng)先晶圓廠發(fā)貨了一臺PECVD設(shè)備用于先進(jìn)邏輯芯片制造研發(fā)產(chǎn)線。2020年，該晶圓廠向拓荊科技增訂一臺設(shè)備，用于其先進(jìn)制程試產(chǎn)線。

　　報(bào)告期內(nèi)，拓荊科技的PECVD設(shè)備收入占比均超過75%，在2019年和2020年該類產(chǎn)品的收入占總營收比例分別達(dá)100%和97.55%。

　　▲2018年至2021年1-9月拓荊科技各業(yè)務(wù)營收占比

　　作為半導(dǎo)體制造設(shè)備廠商，拓荊科技的主要客戶有中芯國際、長江存儲、華虹集團(tuán)、晶合集成、北京燕東微、粵芯半導(dǎo)體等國內(nèi)主要晶圓廠。

　　▲拓荊科技2018年-2021年前9個月前五大客戶（來源：拓荊科技招股書）

　　拓荊科技的主要原材料采購項(xiàng)目為機(jī)械、電器、機(jī)電一體、氣體輸送系統(tǒng)等，主要供應(yīng)商包括萬機(jī)儀器、超科林微電子設(shè)備（上海）有限公司等。

　　▲拓荊科技2018年-2021年前9個月前五大供應(yīng)商（來源：拓荊科技招股書）

　　三、核心技術(shù)達(dá)國際先進(jìn)水平，6名核心技術(shù)人員為外國國籍

　　從全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備市場來看，美國應(yīng)用材料（AMAT）、美國泛林半導(dǎo)體（Lam Research）、日本東京電子、荷蘭先晶半導(dǎo)體（ASMI）等國際設(shè)備巨頭占據(jù)主導(dǎo)地位。

　　根據(jù)市場咨詢公司Gartner的數(shù)據(jù)，東京電子和ASMI分別占據(jù)了全球31%和29%的ALD設(shè)備市場；應(yīng)用材料占據(jù)了85%的PVD設(shè)備市場；應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體和東京電子則分別以30%、21%和19%的市場份額，占據(jù)了七成的全球CVD設(shè)備市場。

　　▲全球ALD、CVD、PVD設(shè)備市場份額（來源：拓荊科技招股書）

　　相比這些國際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭，拓荊科技在運(yùn)營規(guī)模和企業(yè)認(rèn)知度上存在競爭劣勢。不過在國內(nèi)市場，拓荊科技的核心技術(shù)已經(jīng)達(dá)到國際水平，其產(chǎn)品可以與海外巨頭進(jìn)行正面競爭，并拿下一定的市場份額。

　　▲拓荊科技核心技術(shù)情況（來源：拓荊科技招股書）

　　公開招標(biāo)信息顯示，2019-2020年拓荊科技PECVD設(shè)備中標(biāo)機(jī)臺數(shù)量占長江存儲、上海華力、無錫華虹和上海積塔四家下游企業(yè)招標(biāo)總量的16.65%。拓荊科技還獲評中芯國際2020年度最佳合作廠商、華虹宏力2020年度優(yōu)秀供應(yīng)商等稱號。

　　相比同行業(yè)可比公司，拓荊科技2018年-2020年毛利率低于可比公司平均值。隨著其市場地位和議價能力的提升，拓荊科技2021年前九個月毛利率則高于可比公司平均值。

　　不過需注意的是，拓荊科技是國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的集成電路PECVD設(shè)備廠商，和國內(nèi)可比公司以及國際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭的業(yè)務(wù)模式上存在一定差距。

　　▲拓荊科技與同行業(yè)可比公司毛利率對比（來源：拓荊科技招股書）

　　截至2021年9月30日，拓荊科技的科研人員共189人，占員工總數(shù)的44.06%，其中海外技術(shù)專家及高端技術(shù)人才十余人。

　　根據(jù)招股書，拓荊科技的核心技術(shù)人員共有7人，包括董事長呂光泉、董事姜謙、總經(jīng)理田曉明、副總經(jīng)理周堅(jiān)、副總經(jīng)理張孝勇、資深技術(shù)總監(jiān)葉五毛以及產(chǎn)品部總監(jiān)寧建平。

　　值得注意的是，除產(chǎn)品部總監(jiān)寧建平為中國國籍外，拓荊科技的其余核心技術(shù)人員均為外國國籍。

　　呂光泉為美國加州大學(xué)圣地亞哥分校博士，1994年8月至1996年4月，他任美國科學(xué)基金會尖端電子材料研究中心電子材料副研究員；1996年4月至2007年7月，呂光泉就職于美國諾發(fā)，歷任高級工程師、PECVD工藝研發(fā)部經(jīng)理、項(xiàng)目主任兼工藝研發(fā)高級經(jīng)理、ALD技術(shù)高級經(jīng)理；2007年7月至2014年8月，他就職于德國愛思強(qiáng)公司。2014年9月，呂光泉加入拓荊科技。

　　姜謙曾在美國布蘭迪斯大學(xué)獲博士學(xué)位。1982年1月至1984年6月，姜謙任麻省理工學(xué)院材料科學(xué)工程中心研究員。1984年7月，姜謙于英特爾就職，歷任工程師、研究員、項(xiàng)目經(jīng)理、部門經(jīng)理等多個職位。此后他在美國諾發(fā)、欣欣科技（沈陽）有限公司擔(dān)任過副總裁和執(zhí)行董事職務(wù)。2010年4月至今，姜謙任職于拓荊科技。

　　▲拓荊科技董事長呂光泉（左一）和創(chuàng)始人、董事姜謙（右一）

　　田曉明則有美國東北大學(xué)電子工程學(xué)碩士和新加坡南洋理工大學(xué)工商管理碩士學(xué)位。1991年9月至1994年12月，田曉明任美國Codi Semiconductor,Inc.工藝開發(fā)經(jīng)理；1994年12月至2008年10月，他就職于泛林半導(dǎo)體，擔(dān)任過資深工藝工程師、資深工藝研發(fā)經(jīng)理、資深大客戶經(jīng)理、中國區(qū)技術(shù)總監(jiān)等職位；2008年10月至2018年2月，田曉明為尼康精機(jī)（上海）有限公司資深副總裁；此后，田曉明就職于拓荊科技。

　　張孝勇為美國馬里蘭大學(xué)化學(xué)工程博士，曾在美國諾發(fā)歷任工藝開發(fā)工程師、資深工藝開發(fā)工程師、超低介電質(zhì)工藝開發(fā)經(jīng)理、資深重要客戶經(jīng)理等職位。2011年3月，張孝勇加入拓荊科技。

　　周堅(jiān)為美國德克薩斯A&M大學(xué)電氣工程碩士，曾先后任職或就讀于江西郵電科研所、美國德克薩斯A&M大學(xué)、Nonometrics Inc.、Mattson Technology, Inc.、Nonometrics Inc.、Ecovoltz Inc.、睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司等。2018年11月，周堅(jiān)進(jìn)入拓荊科技。

　　葉五毛為加州大學(xué)伯克利分校博士，曾在Nashua Computer Products、西部數(shù)據(jù)、Santa Clara, CA、美國諾發(fā)、NegevTech, Inc.、Hitachi High-Technologies America、Honeywell International等企業(yè)任職；2017年8月，葉五毛任拓荊科技資深技術(shù)總監(jiān)。

　　寧建平則為貴州大學(xué)碩士，正在攻讀大連理工大學(xué)博士。2010年7月，寧建平任職于拓荊科技子公司拓荊鍵科，現(xiàn)為拓荊科技產(chǎn)品部總監(jiān)。

　　四、大基金為第一大股東，無控股股東與實(shí)控人

　　國家集成電路基金、國投上海和中微公司是拓荊科技的前三大股東，分別持有26.48%、18.23%和11.20%的股份。

　　此外，呂光泉、劉憶軍、凌復(fù)華、吳飚、周仁、張先智、張孝勇，以及沈陽盛騰、芯鑫和等11個員工持股平臺均為姜謙一致行動人。因此姜謙通過直接持股和一致行動人，控制了拓荊科技15.192%的股權(quán)。

　　▲拓荊科技股權(quán)結(jié)構(gòu)（來源：拓荊科技招股書）

　　根據(jù)拓荊科技的公司章程規(guī)定，其董事會由9名董事組成，包括3名獨(dú)立董事。其董事會決議的表決實(shí)行一人一票，且董事會做出決議必須經(jīng)全體董事的過半數(shù)通過。

　　在6名非獨(dú)立董事中，國家集成電路基金有權(quán)提名2位，國投上海、中微公司分別有權(quán)提名1名，姜謙及其一致行動人有權(quán)提名2名。由于任何單一股東以及一致行動人提名的非獨(dú)立董事均不足董事會席位的1/2，拓荊科技不存在控股股東或?qū)嶋H控制人。

　　結(jié)語：盈利能力存疑，核心技術(shù)人員外籍人士占比較高

　　拓荊科技作為我國薄膜沉積設(shè)備龍頭，基本上代表了我國PECVD等產(chǎn)品的領(lǐng)先水平。本次IPO，拓荊科技將獲得更充裕的研發(fā)資金，并加大自身融資渠道，擴(kuò)大運(yùn)營規(guī)模。

　　但值得注意的是，拓荊科技當(dāng)前收入較為依賴PECVD設(shè)備，ALD、SACVD設(shè)備處于市場開拓階段，其國際巨頭占據(jù)了絕大部分市場，其盈利有著不確定性。同時，拓荊科技核心技術(shù)人員以外來專家為主，在人才培養(yǎng)上或需要更大的投入。